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UV-KUB 3 是一種基于掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng)，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束，因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
聯(lián)系人：葉盛
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