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勻膠旋涂儀M-SPIN 200是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂儀適用于直徑大為8英寸的晶圓片，或大為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動工作，分配移動托盤，可定義數(shù)量。該勻膠旋涂儀配備了頂蓋的聯(lián)鎖機制，和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂儀包含一個內置模塊，該模塊連接到柔性電纜，外接到一個19英寸外部控件上。

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