Microchem SU-8 2000 系列

簡要描述：SU-8 2000化學放大，i線抗蝕劑非常適合制造 permanent性器件結構。這些負色調，環(huán)氧基抗蝕劑表現(xiàn)出優(yōu)異的耐化學性和低的楊氏模量，使其成為制造微/納米結構的理想選擇，如懸臂，膜和微通道。

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廠商性質：代理商
更新時間：2024-05-16
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光刻膠

SU-8膠 Futurrex光刻膠顯影液納米光刻壓印膠查看全部產品

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MicroChem環(huán)氧樹脂抗蝕劑由化學放大的環(huán)氧基負性抗蝕劑組成，它們具有高度功能性，光學透明性和可接近UV（365nm）輻射的可成像。固化膜或微結構是對溶劑非常抵扣的，酸和堿以及具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性，使其非常適合制造permanent結構，如像素墻，流體通道和噴嘴，微陣列和間隔物。

材料的使用：

PDMS模具制造
結構部件，如微流體通道，顯示像素陣列，墻壁和介電層
干蝕刻掩膜
快速成型

材料屬性：

旋涂薄膜從< 1µm＞75µM
耐高溫和耐化學性好
光學透明
兼容i-Line成像設備

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