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MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度監(jiān)視器 僅適用于Cressington Sputter和Carbon Coaters 高分辨率厚度監(jiān)視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質(zhì)量改變。電子測(cè)量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發(fā)的材料的密度輸入系統(tǒng),就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測(cè)量厚度為0.1nm的分辨率。
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