EM Resist SU-8負性抗蝕劑產品,非常適合半導體應用。我們的產品有各種形式和厚度范圍。 典型的SU-8過程包括以下步驟: 基板準備 旋涂 松弛時間以提高表面均勻度 軟烤 曝光后烘烤 發(fā)展歷程 沖洗并干燥 可選硬烤
SU-8 2000是一種高對比度,基于環(huán)氧的光致抗蝕劑,設計用于微加工和其他微電子應用,需要厚,化學和熱穩(wěn)定的圖像。 SU-8 2000是SU-8的改進配方,多年來已被MEMS生產商廣泛使用。使用更快干燥,極性更大的溶劑系統(tǒng)可改善涂層質量并提高工藝產量。 SU-8 2000有十二種標準粘度。通過單道涂覆工藝可以實現(xiàn)0.5至 200微米的膜厚。使膜的暴露的和隨后熱交聯(lián)的部分不溶于液體顯影劑。
SU-8 3000是一種高對比度,基于環(huán)氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應用中, 需要化學和熱穩(wěn)定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進配方,已被廣泛采用 由MEMS生產商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應力。 SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 µm。
SU-8 2000是一種高對比度,基于環(huán)氧的光致抗蝕劑,設計用于微加工和其他微電子應用,需要厚,化學和熱穩(wěn)定的圖像。 SU-8 2000是SU-8的改進配方,多年來已被MEMS生產商廣泛使用。使用更快干燥,極性更大的溶劑系統(tǒng)可改善涂層質量并提高工藝產量。 SU-8 2000有十二種標準粘度。通過單道涂覆工藝可以實現(xiàn)0.5至 200微米的膜厚。使膜的暴露的和隨后熱交聯(lián)的部分不溶于液體顯影劑。
Futurrex 成立于1985年,是美國光刻膠及輔助化學品制造商。產品以技術著稱,從2000年至今年均增長率為33%。主要客戶有:Ti、半導體、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm (高通)等。Futurrex長期與Intel實驗室合作,產品被廣泛收錄進美國各大學半導體教程,是各大研究機構產品。