美國(guó)Tergeo系列臺(tái)式等離子清洗機(jī)為實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價(jià)比高的小型等離子清洗設(shè)備。Tergeo-EM等離子清洗機(jī)是為SEM / TEM樣品清洗應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它取代了標(biāo)準(zhǔn)Tergeo等離子清洗機(jī)中的石英窗，采用不銹鋼適配器，可放入兩個(gè)不同品牌的TEM樣品桿，可將SEM樣品架放置在內(nèi)部石英板上進(jìn)行清洗。

特點(diǎn)：

1）雙等離子源設(shè)計(jì)可滿足不同樣品的要求。 間接模式足夠溫和，可以處理3nm超薄多孔碳網(wǎng)格。 直接模式可以足夠強(qiáng)，可以去除超過幾微米厚的有機(jī)污染層。

直接/浸入式清洗模式

在樣品室中產(chǎn)生等離子體。將樣品浸入等離子體中，樣品與自由基和高能離子濺射發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。用于高速光刻膠灰化，蝕刻和樣品表面處理。

遠(yuǎn)程/下游式清洗模式

在樣品室外產(chǎn)生等離子體。只有電中性的活性自由基(比如原子氧，原子氫)進(jìn)入樣品室， 離子和電子只存在于樣品室以外的等離子源里面。因?yàn)闃悠肺唇氲入x子體中，樣品表面僅和中性自由基發(fā)生溫和的化學(xué)反應(yīng)。 沒有高能離子濺射！用于易損薄膜，如多孔碳TEM網(wǎng)格和熱敏復(fù)合材料，聚合物和生物樣品等。

2）脈沖等離子技術(shù)可為極薄的多孔碳網(wǎng)生成極弱的等離子體，降低等離子體對(duì)樣品的損傷。

脈沖模式操作可顯著降低精細(xì)樣品的平均等離子體強(qiáng)度。

用戶可以通過改變射頻功率或射頻脈沖來(lái)調(diào)節(jié)等離子體強(qiáng)度。

3）*的等離子體強(qiáng)度傳感器定量監(jiān)測(cè)等離子體強(qiáng)度，用戶可以根據(jù)不同種類的樣品調(diào)整等離子體。

4）直觀的操作，大型7英寸觸摸屏。 可從外部計(jì)算機(jī)操作。 可保存運(yùn)行日志文件。 具有智能自診斷功能。

5）可批量處理樣品。 石英腔：直徑110mm，深度280mm，帶有矩形石英樣品盤（100mmX250mm），可容納一批樣品。雙TEM桿適配器，可配置兩個(gè)不同品牌的TEM樣品桿。

應(yīng)用實(shí)例

等離子體清洗前后的TEM樣品

 Ted-Pella 20nm純碳網(wǎng)格（01843）

應(yīng)用方案

在材料測(cè)試中，樣品自身可將碳?xì)湮廴疚镆隨EM，F(xiàn)IB和TEM樣品室，長(zhǎng)時(shí)間的電子束掃描會(huì)分解樣品室里面的潤(rùn)滑油、真空油脂，造成碳?xì)湮廴荆瑥亩鴮?dǎo)致樣品表面形成黑色碳沉積。XPS數(shù)據(jù)顯示，在暴露在空氣中僅一小時(shí)后，干凈樣品的表面就被空氣中的碳?xì)浠衔镂廴?。不少樣品自身也?huì)引入碳?xì)湮廴尽?duì)于高分辨率FE-SEM上的低著陸能量高分辨率二次電子模式成像，二次電子主要來(lái)自很淺的表層。如果樣品表面被一層碳?xì)浠衔镂廴?，則電子信號(hào)大部分從污染層中出來(lái)。因此，碳?xì)浠衔镂廴緯?huì)降低圖像對(duì)比度和分辨率。

在材料測(cè)試前，我們需要預(yù)清洗SEM和TEM上的碳?xì)湮廴疚铮源_保其準(zhǔn)確度?？墒褂?strong>Tergeo-EM臺(tái)式等離子清洗機(jī)預(yù)清潔SEM和TEM?？墒褂每諝?，Ar， O2或H2氣體以及不同比例的混合氣體在Tergeo-EM等離子體清洗機(jī)中產(chǎn)生等離子體，自由基可以有效地去除樣品表面上的碳?xì)浠衔镂廴疚?。Tergeo-EM等離子清洗機(jī)可將浸沒模式等離子體清潔（樣品浸沒在等離子體中）和下游模式等離子體清潔（樣品放置在等離子體外）集成在一個(gè)系統(tǒng)中的TEM / SEM等離子清洗機(jī) 。Tergeo-EM等離子清洗機(jī)可滿足從高速光阻膠灰化到柔和地清洗石墨烯、碳納米管、DLC（類金剛石碳）、碳纖維、碳網(wǎng)、多孔TEM樣品，以及其他超薄涂層的樣品清洗。此外，*的脈沖模式可產(chǎn)生極短的等離子體脈沖，為精細(xì)樣品進(jìn)一步降低等離子體強(qiáng)度。等離子傳感器技術(shù)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體強(qiáng)度。它可以幫助用戶為不同類型的樣品設(shè)置正確的清潔配方。